中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公示
发布日期：2021-01-21一、项目编号：
采招中心编号：HZ20200201-0219
采购代理编号：0623-2081N1106080
二、项目名称：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目
- 供应商投标情况：
第一包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目
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供应商信息名称 |
资格性 审查结果 |
符合性 审查结果 |
投标报价（元） |
综合 得分 |
推荐 排名 |
是否成交 候选人 |
|
科特莱思科（上海）商贸有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
1795000 |
77.56 |
1 |
是 |
|
昊臣机电（上海）有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
1680000 |
76.6 |
2 |
是 |
|
广州景帆国际进出口有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
1797000 |
68.22 |
3 |
是 |
|
广州市晞灵国际贸易有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
1798800 |
67.19 |
4 |
否 |
第二包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目
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供应商信息名称 |
资格性 审查结果 |
符合性 审查结果 |
投标报价（元） |
综合 得分 |
推荐 排名 |
是否成交 候选人 |
|
湖南华图智能科技有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
2498500 |
98.22 |
1 |
是 |
|
长沙硕德科技有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
2428800 |
78.58 |
2 |
是 |
|
昊臣机电（上海）有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
2430000 |
77.57 |
3 |
是 |
|
深圳摩世达科技有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
2457000 |
76.19 |
4 |
否 |
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科特莱思科（上海）商贸有限公司 |
审核通过 |
审核通过 |
2400000 |
71 |
5 |
否 |
四、中标信息
第一包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目
供应商名称：科特莱思科（上海）商贸有限公司
供应商地址：中国（上海）自由贸易试验区张衡路1000弄31-32号
中标金额：2498500元
第二包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目
供应商名称：湖南华图智能科技有限公司
供应商地址：湖南省长沙市岳麓区望月湖街道银盆南路066号601房
中标金额：2498500元
五、主要标的信息
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第一包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目 |
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分项项目名称 （标的名称/条目号/品目名称） |
规格型号 （或项目特征描述） |
品牌 |
产地 |
数量/单位 |
金额（元） |
备注 |
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1 |
镀膜工艺腔 |
304不锈钢方形腔室 |
Kurt J.Lesker |
美国 |
一台 |
85000 |
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2 |
真空泵系统 |
CTI低温泵+爱德华 干泵 |
EDWARDS |
美国/英国 |
1套 |
370000 |
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3 |
真空测量系统 |
KJLC 392系列全量 程真空计 |
Kurt J.Lesker |
美国 |
1套 |
135000 |
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4 |
系统框架 |
开放式框架 |
Kurt J.Lesker |
美国 |
1套 |
153500 |
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5 |
电子蘇发系统 |
KL-8型电子枪、 6x20CCt坩埚、 |
Kurt J.Lesker |
德国 |
1套 |
450000 |
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6 |
膜厚控制系统 |
软件集成膜厚控制 |
Kurt J.Lesker |
美国 |
1套 |
185000 |
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7 |
控制系统及工作 |
eKLipse毗软件 |
Kurt J.Lesker |
美国 |
1套 |
375000 |
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8 |
配件（晶振片） |
KJLCRYSTAL6-G10 |
Kurt J.Lesker |
美国 |
5盒 |
2500 |
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9 |
配件（石墨垣 |
EVCFABEB-29 |
Kurt J.Lesker |
美国 |
9个 |
9000 |
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10 |
冷水机 |
H5-KJ,制冷量5kw |
同洲维普 |
中国 |
1套 |
30000 |
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第二包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目 |
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分项项目名称 （标的名称/条目号/品目名称） |
规格型号 （或项目特征描述） |
品牌 |
产地 |
数量/单位 |
金额（元） |
备注 |
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|
1 |
主反应腔室 |
AJA 304 S/S不锈钢超高真空反应腔体，腔室尺寸15.6"高 x 14"外径 |
AJA |
美国 |
1 套 |
361200 |
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2 |
样品台 |
最大容纳直径4英寸的基片；最高加热温度850℃，温控精度±1℃ |
AJA |
美国 |
1 套 |
113000 |
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3 |
磁控溅射靶枪 |
AJA 2 英寸超高真空磁控溅射靶枪；靶枪采用稀土磁铁，可以承受 200℃ 高温和 10-11Torr 真空环境 |
AJA |
美国 |
6 套 |
654000 |
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4 |
射频电源 |
AJA 300W射频电源，自动匹配网络，含电缆 |
AJA |
美国 |
2 套 |
210000 |
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5 |
脉冲直流电源 |
TruPlasma DC 4000系列脉冲直流电源2KW |
TRUMPF |
德国 |
1 套 |
133500 |
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6 |
真空泵组 |
主腔室一套：Pfeiffer 700 l/s宽量程涡轮分子泵以及8.8 cfm (NeoDry15)干式机械泵 预真空室一套：80l/s宽量程复合涡轮分子泵以及4cfm机械前级泵 |
Pfeiffer |
德国 |
2 套 |
330000 |
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7 |
电源转换器 |
SBRF-4-A（射频）/SBDC-4-A（脉冲直流） |
AJA |
美国 |
2 套 |
50000 |
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8 |
气路 |
MKS质量流量控制计（Ar-100sccm, O2、N2-20sccm），带气动隔离阀和 过滤器 |
MKS |
美国 |
3 路 |
153000 |
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9 |
预真空室 |
配有磁性传送臂、带定制样品托盘衬托器、全量程真空计、手动插板阀 |
AJA |
美国 |
1 套 |
240000 |
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10 |
膜厚监控系统 |
SQM-160 |
Inficon |
瑞士 |
1 套 |
50000 |
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11 |
工作站及控制系统 |
Phase II-J |
AJA |
美国 |
1 套 |
105000 |
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12 |
水冷机 |
CW6000AN |
特域 |
中国 |
1 个 |
18000 |
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13 |
耗材（常用靶材） |
常用靶材总共6个：Al, Ni, Ge, ITO, NiO, TiO2 |
中诺新材 |
中国 |
6 个 |
22800 |
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14 |
耗材（加热灯丝） |
定制 |
定制 |
中国 |
10 个 |
58000 |
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六、评审专家名单：何煌（主任评委）、刁一峰、朱丽琴、刘兴武、袁小明（业主评委）
监 委：马春德
七、公告期限
自本公告发布之日起一个工作日。投标供应商如对此公告有异议的，请于此公告发布之日起七个工作日内，以书面形式向采购人、代理机构一次性提出质疑。
八、其他补充事宜
本次中标公告同时在中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）中南大学校园网（http://tz.its.csu.edu.cn/）、中南大学采购与招标管理中心网（http://czzx.csu.edu.cn/）上发布。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1、采购人信息
名 称：中南大学
地 址：长沙市麓山南路932号
联系人：张老师
联系方式：0731-88836937
2、招标代理机构信息
名 称：湖南省招标有限责任公司
地 址：长沙市雨花区湘府东路199号招标大厦
联系人：张女士 王女士
联系方式：0731-84511088
3、项目联系方式
项目申购单位：高等研究中心
项目联系人：吴老师
联系电话：15200890109